Schichtcharakterisierung

Funktionelle und optische Beschichtungen sind bei modernen Bauteilen oder Funktionselementen von essenzieller Bedeutung. Je nach Anwendungsfall und -gebiet kommen dabei einfache Schichten oder komplexe Schichtsysteme zum Einsatz. Zur Sicherstellung der gewünschten Eigenschaften ist die Kontrolle über den individuellen Schichtaufbau, Schichtdicken, Homogenität, Reinheit und Strukturierung sowie die Kontrolle der Grenzflächen entscheidend.

SGS Institut Fresenius unterstützt Sie mit einer umfangreichen Expertise bei unterschiedlichsten Aufgabenstellungen: Dotierungen, Kontaktierungen, Passivierungen und Metallisierungen in der Mikroelektronik und Verbindungstechnik bis zur Oberflächenveredelung von Bauteilen.

Typische Anwendungsfelder

  • Analyse von Schichtstapeln und Metallisierungen in der Löt- und Verbindungstechnik
  • Grenzflächenanalyse von Metallisierungen, z.B. bei Delaminationsproblemen oder bei intermetallischer Phasenbildung
  • Kontrolle optischer Schichten auf Glas- und Kunststoffsubstraten (Anti-Reflex, Anti-Fingerprint, Härter)
  • Passivierungen von Maschinenteilen

Informationen über:

  • Schichtaufbau und Schichtabfolge von Schichtstapeln (von nm bis µm)
  • Zusammensetzung, Migration und Homogenität von Schichten und Schichtstapeln
  • Morphologie und Rauheit
  • Schichtanbindung und Grenzflächen
  • Mechanische Eigenschaften
  • Kontaminationen in Schichten oder an Grenzflächen
  • Struktur und Phasenzusammensetzung

Prüfverfahren

  • Elektronen- und lichtmikroskopische Schichtcharakterisierung zur Bestimmung von Schichtdicken, Homogenität und Grenzflächen (REM-EDX, TEM, Lichtmikroskopie)
  • Bruch- und Schliffpräparationen
  • FIB- Präparationen an dünnen Schichten und durch Bondbälle
  • Tiefenprofilierung zur Material- und Kontaminantenanalyse mittels (ToF-)SIMS und XPS/AES
  • Bestimmung von Rauheiten und Topografien mittels Profilometrie und AFM

Ihr Ansprechpartner

SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH
Königsbrücker Landstr. 161
01109 Dresden

t +49 351 8841-200
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