Mikroelektronik

Nahezu kein Bereich der Wirtschaft ist derart von Innovation und Dynamik geprägt wie die Mikroelektronik. Die Weiterentwicklung und zunehmende Integration mikroelektronischer Bauelemente stellt umfangreiche Anforderungen an den Chip und an die Kontaktmaterialien. Neben klassischen Aufgaben, wie die Kontrolle von Schichtaufbauten und Dotierungsprofilen, müssen zur Gewährleistung gesteigerter Zuverlässigkeitserwartungen zunehmend Einflüsse von Umweltfaktoren betrachtet werden.

SGS INSTITUT FRESENIUS als führendes Labor zur Materialanalytik von Mikroelektronik unterstützt Sie mit langjähriger Expertise und der besten Gerätebasis bei der Technologieentwicklung, Qualitätssicherung und Ausfallanalyse.

Unsere Leistungen

  • Analytischer Support von Technologie- und Prozessentwicklung
  • Fertigungsüberwachung und Qualitätssicherung
  • Fehleranalyse
  • Oberflächenkontaminationen
  • Reverse Engineering
  • Kontrolle von Medien und Materialien für den Produktionsprozess – Immissionen: Analyse von Gasen, Flüssigkeiten und festen Materialien
  • Umweltüberwachung – Emissionen: Untersuchung von Abwasser, Abluft, Ätzerabgasen und festen Rückständen
  • Untersuchung von Kristallfehlern, Beschichtungen, Strukturen und Aufbauten
  • Physikalische und chemische Spezial-Analytik
  • Technologierelevante Bewertung der Ergebnisse
  • Bildgebende Darstellung dotierter Gebiete mittels REM:
    • Bildgebend über Anätzen/Dekoration:
      • Darstellung des Verlaufs von dotierten Gebieten an Querbrüchen oder Schliffen
      • Abbildungen mit dem Lichtmikroskop oder REM
  • Analyse von Dotierungen und Dotierprofilen mittels SIMS und SRP:
    • Messung von Dotierstoffen:

Ihr Ansprechpartner

SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH
Königsbrücker Landstr. 161
01109 Dresden

t +49 351 8841-200
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