Halbleiterfertigung

Nahezu kein Bereich der Wirtschaft ist derart von Innovation und Dynamik geprägt wie die Mikroelektronik.Die anhaltende Miniaturisierung der integrierten Strukturen bestimmt weiterhin die Technologieentwicklung. Dieser Trend ist nicht ohne den Einsatz zukunftsorientierter Werkstoffe und neuer Prozesse realisierbar.

Darüber hinaus steigt die Anwendungsvielfalt der Mikrotechnologien. Übergreifend, vom Bauelement über die Baugruppe oder das Mikrosystem bis hin zum fertigen Gerät, stehen dabei die Forderungen nach hoher Qualität und Zuverlässigkeit.

Eine hochleistungsfähige Analytik kann Schwachstellen aufzeigen und somit zur Gewährleistung von Qualitäts- und Zuverlässigkeitsansprüchen beitragen. Aufgrund der enormen Anforderungen an das dafür notwendige Equipment können die anstehenden Probleme zunehmend nur durch übergreifende Kooperation kostengünstig gelöst werden.

Unsere Leistungen:

• Kontrolle von Medien und Materialien für den Produktionsprozess – Immissionen: Analyse von Gasen, Flüssigkeiten und festen Materialien
• Umweltüberwachung – Emissionen:Untersuchung von Abwasser, Abluft, Ätzerabgasen und festen Rückständen
• Analytischer Support von Technologie- und Prozeßentwicklung
• Untersuchung von Kristallfehlern, Dotierungen, Beschichtungen, Strukturen und Aufbauten
• Fertigungsüberwachung und Qualitätssicherung
• physikalische und chemische Analytik
• Fehleranalyse
• Präparation, Abbildung und Analyse
• Technologierelevante Bewertung der Mess- und Prüfergebnisse

Ihr Ansprechpartner

SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH
Königsbrücker Landstr. 161
D-01109 Dresden
t: +49 351 8841 - 0
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